4月18日上午，中国科学院微电子研究所、江苏物联网研究发展中心毛海央博士在院会议室，为kok中欧体育师生做了题为“多样性纳米结构制备方法及其在MEMS器件中的应用”的学术报告，报告会由副院长胡建东教授主持。
毛博士以纳米森林结构刻蚀技术在新型MEMS/NMES器件的应用研究出发,分析了与常规微加工工艺相兼容的多样性纳米结构的新型加工工艺，详细介绍了纳米森林结构在微流控拉曼增强光谱（SERS）检测器件及MEMS热电堆红外探测器件中的应用。报告会后，学院师生与毛博士就MEMS传感器件在农业智能检测仪器中的应用进行了进一步的学术交流和深入的讨论。
毛博士的报告内容丰富，特别是关于光刻技术突破的介绍，拓宽了学院师生对MEMS器件及其构成的传感器的认识，增强了相关专业教师及研究生对MEMS传感器在农业智能化检测仪器中应用的研究兴趣。
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毛海央，女，1983年生，毕业于北京大学信息科学技术学院，获博士学位，现为中科院微电子所副研究员。
主要研究方向：微/纳机电系统（MEMS/NEMS）技术。近年，主要从事以下科研工作：微型加速度计(阵列)的设计及其误差机理分析；共振隧穿量子阱薄膜结构的压阻特性研究；基于微纳跨尺度三维结构的微流控SERS检测器件研究；MEMS红外探测器研究等。作为核心研究人员参与国家自然科学基金项目5项，国家重点基础研究发展计划（973计划）项目2项，主持江苏省自然科学基金项目1项，承担中科院-地方合作项目2项，负责国家02专项中某一传感器产品的研发工作。在Small、Nanotechnology、IEEE MEMS Conference、Transducers等国际著名学术期刊、顶级学术会议上发表研究论文30余篇( SCI检索11篇)，作为第一发明人和主要发明人申请发明专利20余项。
曾荣获2010年度“北京大学-Lam Research”论文奖，2013年度中国科学院微电子研究所年度十佳先进工作者，中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室、江苏物联网研究发展中心年度先进工作者。
